扩散方程及扩散杂质分布
课程内容: 1 扩散方程 1.1 平面器件扩散状态近似 1.2 扩散方程的建立 2 两步扩散工艺及其特点 2.1 两步扩散工艺 2.1.1预淀积扩散 2.1.2 再分布扩散 2.2 两步扩散工艺各自的特点及相应的初始、边界条件 2.2.1预淀积扩散的工艺特点及相应的初始、边界条件 2.2.2再分布扩
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