潘峰,钱省三 (上海理工大学工业工程研究所 微电子发展研究中心,上海 200093) 摘要:对半导体制造中员工人数的配置问题进行了研究,提出了操作工人数的长期决策和短期决策两种情况,并用仿真模拟的方法对操作工数量需求进行动态研究,而非传统的静态模型。本文还对目前评价操作工绩效的指标进行了阐述,提出了在制品利用率作为评价指标。 关键词:人数配置;仿真模拟;在制品利用率 中图分类号: TP273 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2005)01-0041-05 1前言 半导体晶圆制造是一个设备资金密集型的工业。比较典型的晶圆制造厂拥有大约300-500台设备,这些设备可以