方昕1,方仁昌2(1.中国工程物理研究院工学院,四川 绵阳 621900;2.中国工程物理研究院电子工程研究所,四川 绵阳 621900)摘要:简述了IBAD(离子束辅助沉积)法制备纳米钛膜的过程中,关键工艺因素是如何将衬底温度维持在一个适当的范围,并运用PID(比例积分微分)调节器较好地实现这一要求的。 关键词:纳米钛膜;衬底温度;PID调节器中图分类号:TH861;TF823 文献标识码:A 文章编号:1671-4776(2003)12-0022-021引言纳米钛薄膜的晶粒尺寸直接影响到它的结构和性能。应用要求钛薄膜的晶粒尺寸控制在尽可能小的范围。在采用IBAD法制备钛薄膜的工艺实践中,应