扩散原理
课程内容: 1 扩散的实质 2 扩散系数D及讨论 2.1 扩散系数D与温度有关 2.2 扩散系数D与扩散杂质种类及扩散机构有关 2.3 当Ns>ni 时,扩散系数D与表面杂质浓度Ns,与衬底杂质浓度NB有关 2.4 扩散系数D与衬底晶格完美性有关 2.5 扩散系数D与衬底取向有关 3 杂质扩散机构 3.1
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