目前市场上有两种固态指纹传感器:第一种是单次触摸型传感器,要求手指在指纹采集区进行可靠的触摸;第二种则需要用手指在传感器表面擦过,传感器会采集一套特定的数据,然后进行快速分析和认证。这两类指纹传感器将得到越来越广泛的应用。 上述两类传感器工作原理为:当指纹中的凸起部分置于传感电容像素电极上时,电容会有所增加,通过检测增加的电容来进行数据采集。传感器中的像素点为45平方微米,间隔为50微米,电容像素阵列的分辨率略高于500dpi。这类传感器基于一种标准的单-多晶硅三层金属CMOS工艺,并采用0.5微米工艺进行设计。 金属互连的第三层构成电容像素层,由氮化钛制成并覆盖着一层