无机残余物是那些不含碳的物质。这样的例子有无机酸,如盐酸,氢氟酸。它们会在晶片制造的其它工序中介绍。关于晶片表面有机物和无机物的去除,有一系列的清洗方案,将在下面的部分介绍。