模拟技术中的借助PAT测试实现半导体器件的零缺陷制造

业界对于半导体器件零缺陷需求的呼声日益高涨,为此半导体制造商开始加大投资应对挑战,以满足汽车用户的需求。随着汽车中电子元器件数量的不断增加,必须严格控制现代汽车中半导体器件的质量以降低每百万零件的缺陷率(DPM),将与电子元件相关的使用现场退回及担保等问题最小化,并减小因电子元件失效导致的责任问题。 美国汽车电子委员会AEC-Q001规范推荐了一种通用方法,该方法采用零件平均测试(Part Average Testing, PAT)方法将异常零件从总零件中剔除,从而在供应商这一级就改进部件的质量和可靠性。对给定晶圆、批号或被测零件组,PAT方法可以指示总平均值落在6σ之外的测试结果,任何超出给