本刊通讯员 张 伟 2003年3 月12~14日在上海新国际博览中心SEMICON CHINA 2003如期举行,此次展会有来自23个国家共700多家厂商参展,会议吸引了众多行业人士前来参观。随着全球半导体市场的大幅下滑,而中国无疑是半导体产业最为振奋人心的市场,也是最具有发展潜力的市场。中国正逐步成为技术投资增长的亮点。在中国半导体制造业大力发展乃至繁荣的同时,半导体设备在整个环节是重中之重。在工艺技术不断提升的时候,顺畅及高效率的工艺整合便越显重要,因为只有借高效能的自动化系统及设备,才能有效地把采用工艺所带来的效率彰显;另外,高效率的工艺整合对于降低生产成本及提升品质和效率也有很大的贡献