(上海微高精密机械工程有限公司,上海 201203)摘 要:通过对国内IC生产线及其Stepper装备的现状、市场前景的分析,阐述了国内0.2-1μmIC生产线中二手Stepper解决方案。关键词:分辨率; IC生产线;二手Steppe广;解决方案中图分类号:TN305 文献标识码:C 文章编号:1004-4507(2005)03-0004-341 国内IC生产线中Stepper现状及市场前景1.1 国内IC生产线现状随着科学技术的不断发展和进步,我国微电子产业已进入蓬勃发展的新时期,特别是最近几年以来,我国IC产业的迅速崛起,令世人振奋,有目共睹。但由于受技术水平的限制和西方发达国家对中国的