很多年以来,晶圆级RF参数测试是给人的印象是频率局限于6 GHz的"大铁盒子"自动测试设备(ATE),或者是不能用于生产的实验室系统。对于统计过程表征与控制都是不实用的。为了解决现有系统的问题,Keithley公司在2001年推出DC/RF系列参数测试机台。最近,它提出了第三代的RF测试能力(如图)。利用这些系统,探针只需一次压入,DC和R F测试就可以并行进行。当RF测试进行时,DC测试可以在后台运行,或者相反,这取决于哪种测试更复杂。系统软件提供实时的后序寄生消除处理和参数提取。 系统设计受到了几家客户成功合作的影响,使得所有公司的DC参数测试机台在升级到第三代RF时都会大有收益(如表)。