摘要:运用LabVIEW6.1开发了用于气体微流量测量的虚拟仪器,阐明了该虚拟仪器的硬件结构、软件设计思想和具体实现,结合实验数据对不确定度进行了分析。该系统具有测量精度高、界面友好、运行稳定可靠、功能便于扩展等特点。 关键词:虚拟仪器;LabVIEW;气体微流量测量 引言 在真空技术应用中,气体微流量由气体微流量计测量。精确测量气体微流量(或漏率)具有十分重要的意义。例如,为了保持飞船舱内的压力长期工作正常,需要对舱体进行检漏,检漏时不但要找到漏孔位置,还要精确测量微小的漏率,这对于长期在空间飞行的载人飞船尤为重要;火箭燃料是易燃、易爆、有毒的气体或液体,微小的