摘要:从Si材料到化合物半导体再到SiGe,微电子领域应用对材料提出了很高的要求,而这些材料却具有不断优化的性能,SiGe在高速发射和集成方面有很大的进步,SiGe-HBT等新技术的实验与开发为新材料带来了非常大的应用空间。