晶圆在发货到客户之前可以进行氧化。氧化层用以保护晶圆表面,防止在运输过程中的划伤和污染。许多公司从氧化开始晶圆制造工艺,购买有氧化层的晶圆就节省了一个生产步骤。氧化工艺在第7章解释。