扩展有限状态机(EFSM) 是一种构造模型的形式化描述语言. 首先根据化工过程特征, 改进EFSM 模型和数据依赖关系, 构建变量、状态及相互之间转换条件和动作的化工过程EFSM 描述模型; 然后提出化工过程变量之间的静、动态依赖关系和故障传播路径的分析方法; 最后通过典型化工过程CSTR 仿真应用验证了EFSM 模型描述及分析方法的可行性和有效性, 为工业过程的故障传播分析提供一种新的思路和方法.