电子束晶圆缺陷检查系统

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本文讨论了产生短波长激光辐射的问题,涉及合适介质、激发源的选择,以及能否获得光学材料的问题。并讨论了电子束泵浦的真空紫外稀有气体分子激光器的运转和动力学,尤其是Xe分子激光器(λ=172亳微米)。还讨

摘 要:介绍了利用PLC特殊功能模块实现对电子束流的起/收弧的梯度控制、高压电源的软启动和软关机、工作台的运动速度控制等功能。给出了应用特殊模块设计的控制系统结构及电路、并对用该方法设计的几种控制系统

考虑了当射频调制的超短脉冲电子束径向长度远小于辐射波长时,将其理想化为δ时间函数,提出了用波导本征模展开的方法来计算矩形波导中超短脉冲电子束的相干同步辐射及其频率特性。结果发现:1当谐振频率等于调制电

The heat transfer equation for electron beam window foil was solved taking into account the effect o

研究了在短脉冲电子束激发高压稀有气体卤化物之后,三元子准分子的形成和淬灭过程。三原子准分子的形成被看作是:主要通过三体碰撞的产物(其中包括双原子准分子在内作为先驱粒子)。报导了三体形成常数和Xe2Cl

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美国麻省理工学院林肯研究所对于液氦温度下的砷化镓光激射器,利用注入电子束代替大电流脉冲的方法,已经成功地得到了振荡。

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微焦点X射线源是微计算机断层扫描技术设备的核心部件。研究了电子束在靶材中的横向扩散引起的透射式微焦点射线源的焦点尺寸和强度的变化规律。结果表明:当打靶电子束的束流密度遵循高斯分布时,其产生的X射线强度