极紫外光刻掩模相位型缺陷的形貌重建方法

针对圆柱型高精密零件高曲率表面缺陷检测的问题,设计并实现了基于机器视觉的在线检测系统。检测时,为了解决金属件表面反光的问题,设计了专用的光源系统和照明方式。通过光学系统和机械旋转平台的配合,圆柱型零件

便携式的紫外强度探测仪，方便于生活，用于多种场合

概述了真空紫外(VUV)波段光学薄膜及薄膜材料的研究进展,金属Al膜因到短至80nm还能提供较高的反射率而得到普遍关注,在高真空和30 nm/s左右沉积速率下沉积了保护层的金属Al膜在157 nm处反

极平衡作为光刻物镜的一项重要指标,受到多种误差因素综合调制,因此有必要准确区分各种误差源的独立贡献量。提出了一种标定方法,将远心度误差所引入的调制效果进行了解耦,对极平衡指标进行了标定,并与质心标定方

用一个5ornm长微通道板代替光谱仪通用的电子通道倍增器,若用100卜m出入缝,测量高离化态氖 离子的真空紫外光谱,大约1onm的波长区段,谱线分辨好于0.Inm,计数效率提高了两个量级,波长精度 可

彩色封皮是东南亚的日常必需品。 樟脑丸含有近100％的萘或100％的对二氯苯。 它被用来抵抗具有特殊气味的昆虫，防蛀和防霉。 换句话说，这种气味被认为令人讨厌，以致驱赶动物进入驱蚊产品。 本研究分析了

针对现有基于低压汞蒸气灯“日盲”紫外光通信系统通信速率低、驱动电压高、光源响应速度慢、电光转换效率低和功耗过高等问题,提出并设计了一套基于LED 的“日盲”紫外光通信系统。该系统以深紫外LED 作为光

采用烟尘的团簇-团簇凝聚模型和离散偶极子近似方法,分析了紫外光在不同烟尘浓度和粒子半径下的单次和多次散射信道特性,以及散射角对散射光强的影响。研究结果表明,在紫外光短距离直视通信方式下,当粒子半径相同

为验证大气湍流对紫外光的衰减作用,根据折射率结构常数、信噪比(SNR)、衰减概率的数学模型,采用对比分析法研究折射率结构常数随高度的变化规律,不同强度大气湍流对系统的信噪比和信号衰减的影响.结果表明,

我们报道了在熔融石英衬底上掺有银纳米团簇的ZnO薄膜的紫外激光诱导的光伏效应。 在266 nm脉冲激光的照射下,在25 ps的持续时间内,观察到半峰全宽的开路光电压约为1 ns。 当用308 nm激光