三维存储器成品率是评价冗余共享策略的一个重要指标。为了提高三维存储器的成品率和冗余资源利用率,提出了一种全新的故障交叉聚类技术,不仅能实现故障单元垂直方向上的跨层聚类,还可以跨层聚类到相同存储阵列索引的非垂直方向位置,更多的故障单元被聚类到其他层中,从而使用一个冗余行可以修复更多的故障。此外,根据故障交叉聚类策略重新设计了内建自修复结构和读写控制器,对数据重新组合来保证数据正确的输入或输出。实验结果表明,相比于现有的修复方案,该内建自修复方案仅增加了0.43%的面积开销就有效的提高了三维存储器的成品率。