硅光子是新一代大规模光/电集成的理想技术,可实现各种常见光器件,其中硅微环电光调制器是一个重要器件。相对于幅度光调制,相移键控(PSK)光调制具有更好的功率利用率,是代替普通开关键控(OOK)调制方式的较好技术。相移键控光调制一般应用马赫-曾德尔调制器(MZM)来完成,但由于尺寸和工艺上的限制,普通铌酸锂马赫-曾德尔调制器难以应用于光集成系统。而尺寸在微米量级的硅微环电光调制器具有规模生产和光集成的前景。这里研究基于硅微环电光调制器的相移键控光调制,采用耦合模方程和一维时城有限差分(FDTD)方法分析了其静态和动态调制特性,以及光纤传输性能。采用1 bit时延马赫-曾德尔干涉仪解调,结果显示信