一、引言 70 年代初美国贝尔实验室研制成功只电耦合器件( CCD) , 之后CCD技术发展迅速。CCD 图像传感器作为一种新型光电转换器已被广泛的应用于摄像、图像采集、扫描仪以及工业测量等领域。随着CCD 应用范围的扩大, 其缺点逐渐暴露出来。为此, 人们又开发了另外几种固体图像传感器技术。其中, 引人注目、有发展潜力的是CM OS 图像传感器, 它能获得和CCD 产品相似的图像质量, 且在功耗、集成度上都取得了很大突破。 二、CCD 结构及其特点 CCD 即电荷耦合器件, 是1 种高性能微型图像传感器。这种新型光电成像器件具有灵敏度高、光潜响应宽、集成度高、维护方便、成本