石墨烯纳机电系统及其与光纤的集成研究

石墨烯具有比表面积大、弹性模量大、刚度大和密度低等特性,是极佳的纳机电系统(NEMS)基础材料。石墨烯纳机电系统主要研究石墨烯薄膜的机电性能,其共振频率对质量、力和热具有非常灵敏的响应,在传感领域具有广泛的应用前景。光纤传感器已得到广泛应用,二者相结合能够发挥更大的优势。本文主要对石墨烯纳机电系统的工作原理、制备工艺、传感应用和基于光纤的石墨烯纳机电系统传感器进行了综述与展望。