多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计

提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法, 该方法利用紫外增强PIN光电二极管, 同时快速测量曝光机照面多点的光强, 通过在传统电流-电压放大电路的基础上进行改进, 同时使用复合放大的方法, 大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性, 使每一测量单点测量重复性控制在0.02 mW/cm2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验, 结果表明, 多点测量一致性小于0.1 mW/cm2, 且检测的照度均匀性符合要求。