针对原子谱线灯谱线能量弱且无法实现波长量值溯源的难题,介绍了一种266 nm标准波长源的研制技术,以1064 nm单块固体环形激光器作为基频光,经过两次二倍频分别得到532、266 nm激光。采用调制转移光谱技术,将532 nm激光波长稳定在碘分子127I2 R(56)32-0的a10超精细谱线上;采用外部环形倍频技术,将稳频的532 nm激光倍频到266 nm。将532 nm波长溯源至中国计量院的飞秒光梳波长标准装置,间接实现266 nm激光波长的量值溯源。实验结果表明,标准波长源频率稳定性的阿伦方差优于1×10-10,采用标准波长源校准后的紫外光谱仪具有较好的波长测试准确度。