摘要:本文介绍了具有肖特基正向特性和PN结反向特性的新型整流器-混合PiN/Schottky二极管(MPS)。理论分析了该器件的正向导通、反向阻断和击穿特性.以4HSiC材料为例模拟和优化设计了器件的外延层掺杂浓度和厚度、肖特基接触和PN结网格宽度、PN结深度和掺杂浓度等主要的结构参数。成功的制作了以Ni做肖特基金属,拥有JTE终端的4H-SiCMPS二极管,器件的击穿电压在600V-700V之间,约为平行平板结理论值的70%,反向漏电流在-600V时小于10-6A/cm2,而正向电流密度在3.5V时达1000A/cm2。 引言 减少无源元件尺寸和增加系统的效率是现代功率系统的发展趋势,迫