用计算全息图(CGH)检测非球面时,除了设计零位补偿CGH 外,还往往设计辅助调节CGH,从而可以利用干涉图来精确调节CGH 的位置。针对这种同时具有零位补偿和辅助调节功能的CGH,提出零位补偿CGH 和辅助调节CGH 之间具有相互补偿效应。针对一高次非球面,设计了四种不同的CGH 配置方案,而后逐一分析了零位补偿CGH 和辅助调节CGH 之间的补偿效应。分析结果表明,在相同的基板误差的条件下,具有自补偿效应的配置方案的Power 项误差小于其他方案的1/40,而球差和高阶球差则小于其他方案的1/70。利用具有自补偿效应的配置方案加工制作了CGH,用此CGH 完成了对非球面的加工检测迭代,非球