用激光喇曼光谱仪测量样品的斯托克斯和反斯托克斯散射线的相对光强之比.可以得到样品表面的局部温度.温度数值直接由导出公式计算而得,无需定标.它特别适用于表面物理和集成电路新工艺开发研究.文中还就该方法的误差进行了讨论和实验修正.