将多层薄膜淀积在锗上,就可以制成几乎无损耗而且结实耐用的反射镜,供CO2激光系统使用。此种新技术的研制者美帝激光光学公司宣称,从前输出100瓦的激光器,使用此种新型反射镜后,输出可提高至150至170瓦。但拒绝透露此种薄膜所用的材料。