基于硅十字缝隙波导结构的偏振无关微环型谐振腔的设计与模拟

分析了硅基十字缝隙波导(SCSW)偏振敏感的原因,计算了不同偏振态下SCSW 的有效折射率和单模工作条件,分析发现通过合理的设计单模SCSW 的结构,可以达到偏振不敏感。提出并模拟了基于SCSW 的具有偏振无关特性的微环形谐振腔。该谐振腔的半径为3.7 μm,偏振无关的工作区域大约64 nm,自由光谱范围大约35 nm。