1965年,激光技术领域又获得了两项新的进展:西耳凡尼亚电气产品公司的研究者实现了激光辐射的调频,并用这一激光器来获得单频输出信号,这种信号包含原来激光器所有模式的能量。在共振腔外面、调频激光束的行程上放一个调相器,并将调频输出驱动180°, 使之异相,就制成了这种单频(或称超模)激光器。