计算全息图补偿检测离轴非球面中的投影畸变校正技术

为了校正利用计算全息图(CGH)补偿检测离轴非球面引入的二维投影畸变,提出了基于检测光路仿射变换的投影畸变校正方法。通过追迹检测光路求解畸变映射函数,借助镜面特征点实现畸变校正结果与镜面的高精度对准,利用校验特征点实现校正误差检验。将该技术实际应用于某项目800 mm×600 mm离轴非球面主镜检测和加工,检测结果与工件面形位置误差由校正前80 mm降低至1 mm以下。根据畸变校正后的数据,对该镜采用离子束抛光,最终面形精度[用均方根(RMS)误差表示]达到0.0162λ(λ=0.6328 μm)。