Ηe-Νe激光用于测定玻璃和塑料固体核径迹探测器中蚀刻径迹参数。使用光电池装置分析夫琅和费衍射图。激光衍射法和光学显微镜直接测定法二者径迹参数值非常一致。激光衍射法对分析圆形深的蚀坑效果最佳,但对浅的和随机取向的蚀坑(如低电离粒子在2π几何条件测量时产生的)亦能作出正确的估算。