显然是为了提高氙激光器的真空紫外发射的输出,军方正在研究抗损伤激光腔的可能性。早期真空紫外氙激光器的输出受到由10毫微秒脉冲的强度——20兆瓦/厘米2——所引起的铝反射镜的损伤的限制;在索尼克斯公司,为美国国防部远景研究计划局支持的一个计划,正在检查透明材料的损伤阈值,期待在全内反射或多层电介质涂层的基础上从腔内获得更高的功率。