0 引 言 谐振式压力传感器的基本机理是利用压力敏感元件感受到压力,使与之相关联的谐振器的谐振频率发生变化,通过测量谐振器频率的变化来检测压力。与通常的诸如压阻式和电容式压力传感器相比,谐振式压力传感器体积小、功耗低;以频率为输出量的特点使其具有更高的精度和稳定性,容易和大规模集成电路兼容。 近几年来随着微机械加工技术的进步以及微弱信号检测技术的进步,基于MEMS工艺基础的谐振式压力传感器的研究和制作越来越受到重视。本文介绍了一种具有差分检测结构的谐振式压力传感器,谐振器采用电磁激励-电磁拾振的激励方式,采用闭环自激振荡的检测方式来检测压力。 1 工作原理 传感器