GaAs Ga

本文报告GaAs-Ga1-xAlxAs双异质结激光器制造中,用两种液相外延方法把三元系Ga1-xAlxAs变成四元系Ga1-xAlxAs1-yPy.用X射线衍射仪测试结果表明:最佳的GaAS-Ga1-xAlxAs1-yPy异质结晶格失配可减至1×10-5,相应的失配应力为1.4×107达因/厘米2.用扫描电子显微镜显示结界面很平整.此法大大改善了异质结的制造质量,可望获得高效率长寿命的双异质结激光器.