提出了一种对大尺寸样品实现大范围、高分辨的原子力显微镜(AFM)扫描成像的新方法,并建立了相应的软硬件检测系统及装备。该方法设计了独特的AFM扫描成像探头。采用全新的光点跟踪探测光路实现了大范围高精度的纵向反馈控制和横向扫描成像,同时设计了开放式的样品台和微探针扫描结合步进电机移动的扫描方式,可对大尺寸(最大可达300 mm×300 mm),大重量(0~20 kg)样品表面进行微纳米扫描检测。利用该型AFM系统对实际样品进行扫描,获得了大范围(1 μm×1 μm~20 μm×20 μm)高分辨(横向分辨率0.2 nm,纵向分辨率0.1 nm)的AFM图像。实验结果表明,该方法适用于大型超精密工