利用兆赫兹量级高重复频率皮秒激光对304不锈钢进行烧蚀,通过激光共聚焦显微镜和扫描电子显微镜对烧蚀表面进行测量观察。结果表明:单脉冲峰值能量密度和重复频率共同决定不锈钢的烧蚀率,单脉冲峰值能量密度与烧蚀阈值比值越大,烧蚀率越大;在高频低峰值能量密度下能获得更优的表面烧蚀质量。随着扫描速度的提高,烧蚀深度呈对数函数关系逐渐减小,烧蚀后的表面粗糙度先减小后趋于稳定。扫描速度在1.0~1.7 m/s内变化时,烧蚀率变化不大。因此采用交叉扫描路径有利于提高烧蚀后的表面质量。