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在正弦相位调制半导体激光干涉仪中,半导体激光波长随注入电流和温度漂移而产生相位测量误差,同时干涉仪的机械振动和干涉仪两臂中的空气扰动也会引入相位误差.在已有光热正弦相位调制干涉仪中引入反馈机制,有效地
准确性是评估多轴系统（MAS）特性和性能的最重要的关键指标之一。 MAS的精度，例如机床，测量机和机器人，会受到各种误差源的不利影响，这些误差源包括几何缺陷，热变形，载荷效应和动态干扰。 在各种工业应
共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度。着重分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和沃拉斯顿棱镜的安装方位角误差同时存在的情况下,引起的频
本文提出了提高Talbot剪切干涉仪检测精度的原理及方法。给出了棱镜、透镜等光学元件及相位物体的检测及其各级滤波剪切干涉象。最后给出了与理论一致的实验结果。
Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档pdf,Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档
提出了一种用于单频激光干涉仪的非线性误差被动补偿方法。利用干涉仪中波片位置的在线预置,实现干涉仪偏振态的超前调整,补偿干涉仪中由偏振分光棱镜、消偏振分光棱镜以及波片的性能和位置非理想导致的非线性误差。
相移干涉仪中四桶和五桶波阵面提取算法的误差补偿
相移点衍射干涉仪利用测试波和参考波的横向错位产生载波干涉条纹,因此测量结果中必然引入一定的系统误差。在分析相移点衍射干涉仪主要系统误差源的基础上,提出了一种新的系统误差标定方法,即旋转光栅法。该方法根
如何使用移相式菲索型激光干涉仪测量光学表面面形的精度
基于激光干涉仪的旋转轴误差快速检定方法.pdf,为了提升五轴数控机床各旋转轴精度，解决旋转轴几何误差难以测量的问题，提出了一种基于激光干涉仪的旋转轴几何精度快速测量方法。该方法针对AC双转台和BC摆头
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