高功率脉冲激光器本身及其元件极易损坏。不仅浪费金钱,而且对其广泛应用也是一个严重的威胁。美帝空军剑桥研究实验室的派赛(C. Pitha)分析和研究了激光棒、反射镜、棱镜与透镜的裂纹与破损,发现激光棒内产生的热显然是造成自损坏的原因。在某些场合,被损坏的激光器会爆炸,在另一些场合,效率则会降低。