采用面阵CCD探测器测量连续和脉冲激光器空间光束的技术,研制了一套高精度激光参量测量系统,测量了激光二极管连续抽运输出波长为1064 nm的固体模式发生器产生的不同阶次厄米高斯光束和脉宽10 ns调Q灯抽运固体激光器的光束参量,分析对比了模式发生器输出光束的理论值和实验测量结果,证明了该系统测量精度优于5%,讨论了测量系统中各种因素对光束参量测量结果的影响。