介绍了绿激光显微精密修调机, 分析了其系统组成结构。系统主要由激光器系统、激光聚焦及定位光学系统、精密数控系统及自动化测试系统组成。描述了绿激光修调在薄膜压力传感器中的应用,同时分析了绿激光修调薄膜压力传感器的主要工艺, 工艺的关键点是对激光束光斑的大小以及激光能量的实时控制。通过高性能的激光器、聚焦系统、监视系统、精确的运动控制系统成功的将调阻技术应用到了薄膜压力传感器生产中, 使传感器的零点控制误差控制±80 μV以内, 相应地保证了零点温漂小于0.02% °C, 且基本呈线性,实现了传感器的非补偿性。