ZnO薄膜的光学性质研究

采用直流反应磁控溅射方法在玻璃基底上成功地淀积了c轴取向性好的ZnO薄膜。经过优化计算,获得并分析了不同氧分压下制备的ZnO薄膜的折射率n和消光系数k的数值;同时得到了吸收谱和光学带隙Eopt,用能带模型解释了Eopt的变化规律。