报道了对45°入射角高反的13.1 nm软X射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的软X射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法, 获得了26.2%的实测反射率, 该反射率已达到理论反射率的70%。