目前在扫描力显微镜中经常用到的氮化硅三角形探针本身可以作为一个基于点微射干涉的微干涉元件。本文讨论了一种根据这一原理设计的用于扫描力显微镜的干涉光探针,它利用微探针表面几何反射波与后向点衍射波之间的干涉来检测微探针的形变,其纵向分辨率达到0.01nm。