提出了结构新颖的混合单元柱面透镜列阵(HECLA)系统,在该系统中引入了半单元结构。数值模拟结果表明,该器件显著地改进了在入射光为超高斯分布条件下的焦线强度分布均匀性。其中准5单元HECLA系统的调制对比度可以降为1.7%。这是目前柱面透镜列阵(CLA)系统难以达到的效果。