描述了基于外差干涉仪原理的用于精密空间光学的准直方法,分析了该方法进行光学系统准直的系统误差;结果表明,只要较好地控制倾斜误差和照明光源的质量,系统误差就可以消除。实验结果说明,系统的测量误差接近探测元件的分辨率。