大口径PZT移相干涉仪的几个关键技术

以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象,研究以压电陶瓷(PZT)实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案,主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试、大口径波面测试技术、移相器在线测试等关键技术,为更大口径的干涉仪的研制提供理论基础研究和关键技术储备。