轻质反射镜渐工艺
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空间原子氧对保偏反射镜偏振对比度的影响
选择金属膜层材料Ag和Ta2O5、SiO2、Al2O3等多种介质薄膜材料, 在石英基底上设计和制备了保偏反射镜, 其在810 nm和850 nm波长处的偏振对比度优于10000∶1。结合保偏反射镜所处
3 2021-02-01 -
双锥方形卡塞格林式聚光反射镜的研究
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10 2021-05-05 -
大口径反射镜组件面形检测系统及方法研究
大口径反射镜组件检测存在的设备昂贵、环境要求苛刻等问题。基于S-H波前传感器的子孔径拼接检测技术,对其拼接算法进行改进,提出混联拼接算法,有效减小拼接导致的面形检测误差。该方法结合自准直波前检测系统和
8 2021-04-21 -
基于多齿谐振光栅的偏振无关宽带反射镜的研究
主要探讨了一种基于多层多齿谐振光栅结构的高性能偏振无关反射镜。得益于TE和TM偏振光泄漏模谐振的共存及相互作用, 该器件在1.65~1.72 μm较宽的频谱范围内具有反射率大于97%、角度带宽约为24
10 2021-03-08 -
基于遗传算法的微反射镜阵列角位置分布算法
自由光瞳照明技术是28 nm及以下节点浸没光刻机中一种重要的光刻分辨率增强技术,其通过微反射镜阵列(MMA)调整光束的角谱来实现任意照明模式, MMA角位置分布对自由光瞳照明技术的应用具有重要的意义。
8 2021-04-08 -
欧司朗光电公司推出新型高亮度CERAMOS反射镜LED
欧司朗光电半导体公司推出新型CERAMOS反射镜LED。该产品不仅封装小巧,而且能提供亮度和功率的性能,是中型 (5"-20") 液晶显示器 (LCD)背光照明的理想解决方案。这款
6 2021-02-25 -
软X光激光用多层膜反射镜的制备与检测
介绍在制备和检测软X光激光用多层膜反射镜中听做的研究工作。重点是制备过程,包括基板、镀膜设备、膜厚控制方法,以及经大量实验得出的镀膜工艺条件、给出了利用X光射线衍射仪所做的周期结构检测结果,以及利用激
10 2021-02-21 -
含扫描反射镜的星载相机异速像移分析
在星载相机中,扫描反射镜通常会带来异速像移,导致时间延迟积分(TDI)CCD上像移分布不均,不同摆角下,这种分布情况均不同,给像移补偿造成困难,难以获得清晰的成像效果。为此进行分析,建立了含扫描反射镜
6 2021-02-18 -
基于空间激光通信组网四反射镜动态对准研究
空间激光通信全光链路组网具有较高的通信速率,决定了其在未来全球空间通信领域中的重要地位及发展方向。全光链路组网需解决一点对多点的光学链路问题,不同方法所涉及的结构和跟踪控制方式会有较大差异。基于全光链
6 2021-02-17 -
基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计
光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址二维微反射镜阵列的新型照明模式变换系统设计方法。分析了减少重构光源所需微反
13 2021-04-18
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