提出一个在小角范围内计算多层膜界面粗糙度的理论计算公式,通过不同样品的小角度衍射曲线进行计算,结果表明由该公式根据不同周期、不同级次衍射峰计算的粗糙度相差比较小,而在相同条件下用已报道公式给出结果相差比较大。该理论公式获得的计算结果与实际观测结果比较一致。