装有内反射镜的小功率氩激光器结构是离子激光技术中的最新进展。1979年东芝把首台商品装置投入市场,这就促使其它制造商根据市场对可靠性的要求发展装有内反射镜的激光产品。去年光谱物理公司和Clonics公司都介绍了一种新结构,这种结构表明了内反射镜氩激光器工艺的新进展。