为降低太阳能电池片表面的反射率,提出了一种基于SiO2/TiO2膜层的减反射光栅,该光栅由基底、浮雕结构和表面薄膜覆盖层组成。以加权平均反射率为评价函数,采用严格耦合波理论和遗传算法对光栅的槽深、周期、占空比、入射角和包覆层厚度等参数进行优化。所设计的太阳能电池用减反射光栅在入射波长为300~1100 nm,入射角度在±40°范围变化时加权平均反射率低于2.16%,最小加权平均反射率低于1.04%。数值分析表明设计的光栅具有优良的工艺容差。