提出了一种用于拟合测量渐变波导的折射率分布的新的理论处理.该方法把统计优化手段导入循环迭代法,可适用于费米函数这一类曲线变化范围大、且有多个自变量的函数.实验上用焦磷酸质子交换制备了LiNbO3波导样品,用该方法对退火后的折射率分布作了测量拟合,折射率拟合值与实验值的均方差为±8.2×10-4.